微量氧分析仪的原理主要有化学电池法、原电池法、燃料电池法、赫兹电池法和浓差电池法。要检测的氧气先通过一个小的毛细口传感器，然后通过一个疏水膜扩散进入，到达电极表面。传感器的结构设计保证会有适量的气体进入与感应电极反应产生足够的电信号，并同时防止电解液泄漏出传感器。通过疏水膜扩散进入传感器里的气体在感应电极发生氧化/还原反应，电极间连接一个电阻，这样，阴极和阳极间会产生一个与氧浓度成正比的电流。通过检测这个电流，就反应出气体中的氧浓度。

　　微量氧分析仪是一种精密的气体分析仪表，不同行业实际使用过程中，工况差距非常大。不同工况也对测量结果有着一定的影响，使用过程中需要注意以下的事项，来避免因工况和认为使用原因导致的测量结果不准确。

　　分析仪取样管路的密闭性：

　　在实际测量中，样气压力一般都为正压，但样气中的氧是微量级的，根据法拉利定律，氧的分压与其体积含量成正比，环境空气中氧含量约21%，与以PPM计算浓度的样气的氧分压相差一万倍左右，因而气样中微量氧的分压远低于大气中的氧分压，当出现泄漏时，大气中的氧便会从泄漏部位迅速扩散进来。

　　微量氧分析仪检测的就是ppm级别的氧含量，因此配套管线必须严格密封，非常微小的管线泄漏（管线连接点、接头等）都会导致环境空气中的氧扩散进来，造成实际测量数值偏高。

　　其次，尽量减少管线长度和管线接头数量，且同时保证接头及阀门气密性良好，管线连接完毕后，应做气密性检查。气密性检查的要求：0.25MPAm测试压力下，30分钟，压降不大于0.01MPA。

　　最后就是使用前执行检漏，初次启用前必须严格检漏。仪器只有在严密不漏的前提下才能获得准确的数据结果。